真空腔體加工注意事項

真空腔體是保持內部為真空狀態的容器，真空腔體加工要考慮容積、材質和形狀。

超高真空係統主要采用不鏽鋼材質。其中300係列不鏽鋼(表1)是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導電率、放氣率低和導熱率低、能夠在-270～900℃工作等優點，在高真空和超高真空係統中，應用較廣。

為了減小腔體內壁的表麵積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表麵。超高真空係統的腔體，更多的是利用電解拋光來進行表麵處理。

焊接是真空腔體製作中最重要的環節之一。通常采用氬弧焊來完成焊接，可避免大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應而影響焊接質量，氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氬氣，以防止熔化後的高溫金屬發生氧化反應。

超高真空腔體的氬弧焊接，原則上必須采用內焊，即焊接麵是在真空一側，以免存在死角而發生虛漏。真空腔體不允許內外雙重焊接和雙重密封的大氣壓在1cm2的麵積上產生約1kgf的壓力，對直徑20cm的法蘭來講，就是1t的壓力。圓筒或球形的腔體，由於構造的特殊性使得壓力分散，腔體的壁厚2～4mm就不會變形。

但是，對於方形腔體，側麵的平板上要承受上噸的壓力，必須通過增加壁厚或設置加強筋，才能防止變形。